干燥空气装置及其在半导体生产中的应用

在晶体管3AX31、3AX81生产中,为减少空气中水汽、杂负微粒对P—N结的不良影响,从加料到封帽等工序的操作,均需在通有干燥氮气的操作箱内进行。在缺少干置氮气的情况下,能否用干燥空气代替干燥氮气呢? 本文阐述了制取干燥空气的工艺流程及其装置、分子筛的性能及吸附特性、分子筛的吸附原理及再生和使用中的注意事项。我厂在加料、初测等操作箱内通入了干燥空气,使空气的相对湿度低于15%,达到了工艺要求,明显地提高了晶体管参教的稳定性和可靠性。