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| 低压应用中的SOI栅控混合管的设计考虑 | |
| 作者姓名： | 黄如 杨兵 王阳元 |
| 作者单位： | 北京大学微电子所!北京100871 |
| 摘 要： | 本文采用数值模拟方法，在考虑短沟效应、开态电流、关态电流和开路电压增益等因素的基础上，首次给出ＧＣＨＴ低压工作下（０．８Ｖ）的设计容区图，清晰地反映了各效应对参数要求的矛盾折中，为器件设计提供了理论依据，也为合理开发深亚微米工艺指明了方向．本文采用的数据处理方法同时可用于针对成熟工艺线的实际器件与电路设计 |
| 关 键 词： | SOI栅控混合管 MOSFET 设计 GCHT |
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