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AISI 316L表面氮化复合类金刚石涂层的相结构及摩擦学性能
引用本文:黄振,郭媛媛,滕越,杨利,杨永杰,吴法宇.AISI 316L表面氮化复合类金刚石涂层的相结构及摩擦学性能[J].中国表面工程,2019,32(5):111-118.
作者姓名:黄振  郭媛媛  滕越  杨利  杨永杰  吴法宇
作者单位:辽宁科技大学 表面工程中心, 鞍山 114051,辽宁科技大学 表面工程中心, 鞍山 114051,辽宁科技大学 表面工程中心, 鞍山 114051,辽宁科技大学 表面工程中心, 鞍山 114051,辽宁科技大学 表面工程中心, 鞍山 114051,辽宁科技大学 表面工程中心, 鞍山 114051
基金项目:国家自然科学基金(51502126);辽宁科技大学省级重点实验室中心开放课题(USTLKFSY201705);辽宁科技大学青年基金(2018QN12)
摘    要:为提高类金刚石涂层与奥氏体不锈钢之间的结合强度,利用等离子体增强化学气相沉积技术分别在未处理和氮化处理的AISI 316L表面沉积类金刚石(DLC)涂层,研究不同沉积温度下DLC及氮化复合DLC涂层的相结构与摩擦学性能。采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)表征涂层的相结构;采用扫描电子显微镜(SEM)观察截面形貌,并用EDS测量氮、碳元素的深度分布;采用纳米压痕仪、摩擦磨损试验机、超景深显微镜、划痕仪检测DLC涂层的摩擦学性能。结果表明:氮化复合DLC涂层的结合力和耐磨性优于DLC涂层;其中100 ℃时,硬度和结合力分别提高25%和175%,综合性能最好。沉积DLC涂层的过程中,氮化层中氮原子因扩散而重新分布,使氮化层的厚度增加,硬度梯度减缓,更有利于基体与DLC涂层间的过渡。

关 键 词:DLC涂层  扩展奥氏体  相结构  摩擦学性能  膜基结合强度
收稿时间:2019/3/16 0:00:00
修稿时间:2019/9/7 0:00:00

Phase Structure and Tribological Properties of DLC Coatings Combined with Nitriding on Surface of AISI 316L
HUANG Zhen,GUO Yuanyuan,TENG Yue,YANG Li,YANG Yongjie and WU Fayu.Phase Structure and Tribological Properties of DLC Coatings Combined with Nitriding on Surface of AISI 316L[J].China Surface Engineering,2019,32(5):111-118.
Authors:HUANG Zhen  GUO Yuanyuan  TENG Yue  YANG Li  YANG Yongjie and WU Fayu
Affiliation:Surface Engineering Institute, University of Science and Technology Liaoning, Anshan 114051, China,Surface Engineering Institute, University of Science and Technology Liaoning, Anshan 114051, China,Surface Engineering Institute, University of Science and Technology Liaoning, Anshan 114051, China,Surface Engineering Institute, University of Science and Technology Liaoning, Anshan 114051, China,Surface Engineering Institute, University of Science and Technology Liaoning, Anshan 114051, China and Surface Engineering Institute, University of Science and Technology Liaoning, Anshan 114051, China
Abstract:
Keywords:DLC coatings  expanded austenite  phase structure  tribological properties  adhesion strength
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