| 308nm准分子激光辐照对TiO_2薄膜性质的影响 |
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| 引用本文： | 文小明,刘焕林,普小云,杨雪玲,黄惠珍. 308nm准分子激光辐照对TiO_2薄膜性质的影响[J]. 应用激光, 1998, 0(1) |
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| 作者姓名： | 文小明 刘焕林 普小云 杨雪玲 黄惠珍 |
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| 作者单位： | 云南大学物理系!昆明，650091 |
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| 摘 要： | 用308nm准分子激光辐照TiO2薄膜样品，对辐照前后的薄膜样品分别进行了XPS、XRD的对比测试和显微分析，确定了TiO2薄膜样品的性质变化是由于激光辐照使其表面快速升温熔化和快速降温凝固，导致了晶格中部分氧原子的缺位，引起了化学配比偏离。
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| 关 键 词： | TiO_2薄膜 准分子激光 表面改性 |
Influence of 308nm Excimer Laser Irraditing on TiO_2 Film |
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| Wen Xiaoming, Liu Huanlin, Pu Xiaoyun, Yang Xueling, Huang Huizhen. Influence of 308nm Excimer Laser Irraditing on TiO_2 Film[J]. Applied Laser, 1998, 0(1) |
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| Authors: | Wen Xiaoming Liu Huanlin Pu Xiaoyun Yang Xueling Huang Huizhen |
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| Keywords: | TiO_2 film excimer laser surface modification |
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