锆铝吸气泵的应用研究

锆铝吸气泵是利用非蒸散型吸气剂吸附活性气体的一种新型真空设备。它具有结构简单、体积小、无污染、无磁、无机械传动、使用方便、稳定可靠等特点。并在较宽的压强范围内具有大而稳定的抽气速率。70年代开始用于高能加速器、核聚变等科学领域,目前锆铝吸气泵的应用更加广泛。