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| 45nm节点在悄悄行动 | |
| 引用本文： | 翁寿松.45nm节点在悄悄行动[J].中国集成电路,2006,15(5):51-54. |
| 作者姓名： | 翁寿松 |
| 作者单位： | 无锡市罗特电子有限公司 |
| 摘 要： | 2006年2月英特尔率先在全球推出45nm153MbSRAM原型,并准备于2007年下半年量产,从此拉开了45nm技术节点序幕。本文介绍了45nm节点的发展动态,并着重介绍45nm光刻、应变硅、低k膜、铜互连,高k膜、新型晶体管结构、SOI和等效离子掺杂等工艺。 |
| 关 键 词： | 技术节点 SRAM 离子掺杂 英特尔 应变硅 铜互连 管结构 SOI 光刻 等效 |
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