| 测量非连续曲面的偏振光差动像散传感技术 |
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| 引用本文： | 邱丽荣,丁雪梅,赵维谦,马宏文. 测量非连续曲面的偏振光差动像散传感技术[J]. 光电子．激光, 2005, 16(5): 584-587 |
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| 作者姓名： | 邱丽荣 丁雪梅 赵维谦 马宏文 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50475035)，哈工大校基金资助项目(HIT 200126) |
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| 摘 要： | 提出一种基于激光偏振光差动像散原理的非连续曲面绝对跟踪检测方法与技术。该方法依据被测表面反射到位于两柱面镜焦面、焦后等距放置的两探测器上的偏振光的形状,再经两探测器探测信号差动相减和光强归一化处理得到聚焦误差信号,进而达到对非连续三维被测表面的绝对测量和触发瞄准。偏振光差动像散传感器中,由于引入偏振光入射和偏振分光镜分光,使构成的偏振光差动像散检测技术有效抑制光源波动、光学器件间光束的多次反射等对测量结果的影响,显著改善了差动像散离焦检测技术的抗干扰能力和线性。该光学传感器的测量范围为±10μm,分辨力优于0.005μm,可测表面倾角达20°。
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| 关 键 词： | 三维曲面测量 偏振差动像散 离焦误差信号 |
| 文章编号： | 1005-0086(2005)05-0584-04 |
A Polarized Heterodyne Astigmatic Sensing Technique for Measurement of Discontinuous Surface |
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| QIU Li-rong. A Polarized Heterodyne Astigmatic Sensing Technique for Measurement of Discontinuous Surface[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2005, 16(5): 584-587 |
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| Authors: | QIU Li-rong |
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| Affiliation: | QIU Li-rong~ |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | D surface masurement polarized heterodyne astigmatic defocused error signal |
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