| 电感耦合等离子体离子注入内表面的数值仿真研究 |
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| 引用本文： | 汪志健,田修波,巩春志,杨士勤,Ricky Fu.电感耦合等离子体离子注入内表面的数值仿真研究[J].真空,2010,47(4). |
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| 作者姓名： | 汪志健 田修波 巩春志 杨士勤 Ricky Fu |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150001
2. Department of Physics & Materials Science,City University of Hong Kong,Hongkong |
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| 摘 要： | 本文采用Particle-in-cell模型对采用电感等离子体离子注入处理管内表面的动力学过程进行数值仿真研究,考察了电感线宽对管内电势分布、鞘层重叠、离子平均注入能量、剂量和角度等的影响。计算结果表明随着电感线宽的增加,电感线圈对等离子体鞘层扩展的钳制作用增强,管内的鞘层重叠系数下降,电感内的离子消耗速度下降。在鞘层内电场力的作用下,离子会发生聚集,离子聚集点的位置随着电感线宽的增加向外移动。研究结果还表明通过增加电感线宽可以进一步提高管内表面的离子平均注入能量。离子注入以接近垂直的角度注入到管内表面,虽然电感线圈会产生阴影效应,但管内表面的阴影可以通过管与电感线圈的相对运动来消除。
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| 关 键 词： | 等离子体离子注入 粒子模拟 注入能量 剂量 |
Numerical simulation on ion implantation in inner surface with inductively coupled plasma |
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| WANG Zhi-jian,TIAN Xiu-bo,GONG Chun-zhi,YANG Shi-qin,Ricky Fu.Numerical simulation on ion implantation in inner surface with inductively coupled plasma[J].Vacuum,2010,47(4). |
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| Authors: | WANG Zhi-jian TIAN Xiu-bo GONG Chun-zhi YANG Shi-qin Ricky Fu |
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