新型薄膜材料的特性和应用

本文主要叙述最近一个时期发展的新型压电薄膜及其在SAW方面的应用。除了CdS,ZnO,A1N之外,最近又出现了两种有希望的压电薄膜材料,取向性Ta_2O_s膜和剪切ZnO膜。前者具有高的化学稳定性和时间稳定性,而声学特性相当于ZnO压电膜。后者具有高的耦合系数,低的声速,好的温度稳定性。 另外,还概述了近期报导的其他类型薄膜及应用。其中包括:电发光薄膜、电色薄膜、透明导电膜、传感器用薄膜、铁电薄膜等。