| 自由曲面超精密成形在线测量仪的研制 |
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| 引用本文： | 欧阳八生,唐少农. 自由曲面超精密成形在线测量仪的研制[J]. 仪器仪表学报, 2006, 27(Z3): 2405-2406 |
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| 作者姓名： | 欧阳八生 唐少农 |
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| 作者单位： | 1. 南华大学机械工程学院,衡阳,421001
2. 南华大学电气工程学院,衡阳,421001 |
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| 摘 要： | 设计研制一种用于成形表面接触式在线测量的超精度测量仪.其优点是测量力小(大约100～150mgf),对被测表面不会产生划伤、刮痕,测量精度高,测量仪测头的倾斜与滑动引起的测量误差很小,且其运动通过极小型的激光干涉差分传感器进行检测.因此,其测量数据的相关性和重复性比传统的传感器要好得多,测量数据的重复性3σ小于0.1μm.该测量仪可实时进行测量,测量得到的数据通过电脑同步输出,效率高.
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| 关 键 词： | 超精度 在线测量 测量仪 |
Development of ultra-precision form and on-machine measuring probe for free-form surface |
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| Ou Yangbasheng,Tang Shaonong. Development of ultra-precision form and on-machine measuring probe for free-form surface[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2006, 27(Z3): 2405-2406 |
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| Authors: | Ou Yangbasheng Tang Shaonong |
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