| 新结构雪崩光探测器的特性仿真及后工艺优化 |
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| 引用本文： | 张帅,黄永清,陶彦耘,张欣,宋海兰,任晓敏,王琦,黄辉. 新结构雪崩光探测器的特性仿真及后工艺优化[J]. 半导体光电, 2010, 31(4) |
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| 作者姓名： | 张帅 黄永清 陶彦耘 张欣 宋海兰 任晓敏 王琦 黄辉 |
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| 作者单位： | 北京邮电大学,信息光子学与光通信教育部重点实验室,北京,100876;北京邮电大学,信息光子学与光通信教育部重点实验室,北京,100876;北京邮电大学,信息光子学与光通信教育部重点实验室,北京,100876;北京邮电大学,信息光子学与光通信教育部重点实验室,北京,100876;北京邮电大学,信息光子学与光通信教育部重点实验室,北京,100876;北京邮电大学,信息光子学与光通信教育部重点实验室,北京,100876;北京邮电大学,信息光子学与光通信教育部重点实验室,北京,100876;北京邮电大学,信息光子学与光通信教育部重点实验室,北京,100876 |
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| 基金项目： | 国家"863"计划项目，高等学校学科创新引智计划项目，教育部长江学者和创新团队发展计划项目 |
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| 摘 要： | 报道了一种在倍增区引入AlxGa1-xAs带隙梯度结构的谐振腔增强型雪崩光探测器,并提出优化其后工艺制作的新方法.通过将Al0.4Ga0.6As(28 nm)一Al0.2Ga0.8As(10 nm)-GaAs(50 nm)带隙梯度结引入雪崩探测器的高场区,可以实现对探测器噪声和频率响应两个主要性能的优化.数值仿真表明,该结构探测器具有较小的噪声(有效离化系数为0.1),约33 GHz的3 dB带宽(增益为5),在增益为15时可获得420 GHz的增益带宽积.在实际的后工艺制作中,提出使用苯并环丁烯树脂进行InP/空气隙DBR反射镜与雪崩探测器结构粘合的方法,简化了工艺流程.摘要：
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| 关 键 词： | 雪崩光探测器 频率响应 过剩噪声因子 AlGaAs带隙梯度结构 苯并环丁烯 |
Features Simulation and Fabrication Process of New Resonant Cavity Enhanced Avalanche Photodiodes |
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| ZHANG Shuai,HUANG Yongqing,TAO Yanyun,ZHANG Xin,SONG Hailan,REN Xiaomin,WANG Qi,HUANG Hui. Features Simulation and Fabrication Process of New Resonant Cavity Enhanced Avalanche Photodiodes[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2010, 31(4) |
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| Authors: | ZHANG Shuai HUANG Yongqing TAO Yanyun ZHANG Xin SONG Hailan REN Xiaomin WANG Qi HUANG Hui |
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| Affiliation: | ZHANG Shuai,HUANG Yongqing,TAO Yanyun,ZHANG Xin,SONG Hailan,REN Xiaomin,WANG Qi,HUANG Hui(Key Laboratory of Information Photonics and Optical Communications of Ministry of Education,Beijing University of Posts and Telecommunications,Beijing 100876,CHN) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | avalanche photodiode frequency response excess noise factor AlGaAs bandgap graded structure BCB |
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