| 磁控管非平衡状态对Cr膜微观形貌及性能的影响 |
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| 引用本文： | 文晓斌,李显,梁戈,蒋百灵. 磁控管非平衡状态对Cr膜微观形貌及性能的影响[J]. 材料热处理学报, 2010, 31(10) |
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| 作者姓名： | 文晓斌 李显 梁戈 蒋百灵 |
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| 基金项目： | 国家"863"科技攻关基金 |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射方法于不同磁控管非平衡度状态下,通过单靶溅射模式在单晶si衬底上制备了Cr膜.利用AFM、SEM、四探针测试仪及MTS Nano Indenter XP纳米压入测量仪分别对两种磁控管非平衡状态下所得Cr膜的微观形貌、电阻率、纳米硬度和抗磨损性进行了观察和分析,研究了不同磁控管非平衡状态下Cr膜微观结构与性能之间的关系.结果表明:磁控管非平衡状态显著影响着Cr膜的微观结构及性能.不同非平衡度状态下,镀层晶体均为沿Cr(110)择优生长的柱状晶组织.同一靶基距处,镀层晶粒尺寸及硬度与非平衡度大小成正比,而电阻率及抗磨损性能变化趋势却相反.靶基距亦为影响镀层微观结构和性能的重要因素之一.
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| 关 键 词： | 磁控管非平衡度 微观形貌 纳米硬度 抗磨损性 |
Effect of unbalanced coefficient of magnetron on microstructure and properties of Cr film |
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| WEN Xiao-bin,LI Xian,LIANG Ge,JIANG Bai-ling. Effect of unbalanced coefficient of magnetron on microstructure and properties of Cr film[J]. Transactions of Materials and Heat Treatment, 2010, 31(10) |
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| Authors: | WEN Xiao-bin LI Xian LIANG Ge JIANG Bai-ling |
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