现代ZnO体单晶生长

ZnO单晶可用气相输运、水热溶液生长和高压熔体生长三种技术生长。己用水热生长技术生长出三英寸单晶。本文重点介绍大尺寸ZnO单晶的水热生长工艺，并与气相及熔体生长单晶进行了比较。