| 基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计 |
| |
| 引用本文： | 乔治,许宝建,周洪波,金庆辉,赵建龙.基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计[J].微细加工技术,2006(6):28-31. |
| |
| 作者姓名： | 乔治 许宝建 周洪波 金庆辉 赵建龙 |
| |
| 作者单位： | 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
| |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);中国科学院方向性项目 |
| |
| 摘 要： | 设计了一种基于双压电薄膜驱动的微喷芯片,该芯片中每个流体单元结构主要是由进样室、微管道、喷口以及集成了PZT驱动器的主副贮液室组成,其中主驱动器提供喷射液体的驱动力,副驱动器抑制液体回流;采用计算流体力学模拟(CFD-simulation)对其进行了结构设计、进样模拟和喷样模拟,结果表明,液体能成功进样及喷样。同时当微管道尺寸小于40μm时,喷样过程中微管道内将不再产生回流,证明双PZT驱动器的芯片设计合理,为该芯片的制作打下基础。
|
| 关 键 词： | 微喷芯片 PZT驱动器 回流 CFD模拟 |
| 文章编号： | 1003-8213(2006)06-0028-04 |
| 修稿时间： | 2006年5月31日 |
Design of Dual PZT Actuators Based Micro Dispensing Chip |
| |
| QIAO Zhi,XU Bao-jian,ZHOU Hong-bo,JIN Qing-hui,ZHAO Jian-long.Design of Dual PZT Actuators Based Micro Dispensing Chip[J].Microfabrication Technology,2006(6):28-31. |
| |
| Authors: | QIAO Zhi XU Bao-jian ZHOU Hong-bo JIN Qing-hui ZHAO Jian-long |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | micro dispensing chip PZT actuators refluence CFD simulation |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
