| Y2O3-SnO2常温气敏薄膜的Sol-Gel制备及性能研究 |
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| 引用本文： | 方国家,刘祖黎,吉向东,王汉忠,黄宜军,姚凯伦.Y2O3-SnO2常温气敏薄膜的Sol-Gel制备及性能研究[J].无机材料学报,2001,16(1):69-74. |
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| 作者姓名： | 方国家 刘祖黎 吉向东 王汉忠 黄宜军 姚凯伦 |
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| 作者单位： | [1]华中科技大学激光技术国家重点实验室，武汉４３００７４ [2]华中科技大学激光技术国家重点实验室，武汉４３００ |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(19775016);
湖北省教委(97A085)资助项目 |
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| 摘 要： | 以无机盐ＳnCl2.2H2O,Y(NO3)3.6H2O为原料，无水乙醇为溶剂，采用溶胶－凝胶工艺制备了Ｙ２Ｏ３掺杂的ＳnO２薄膜，采用差热－失重分析研究了Ｙ２Ｏ３掺杂的ＳnO2干凝胶粉末的热分解、晶体过程。研究了Ｙ２Ｏ３－ＳnO2薄膜的电学和气敏性能，从实验中得到了Ｙ２Ｏ３掺杂份量对ＳnO2薄膜电学及气敏性能的影响。实验表明Ｙ２Ｏ３掺杂的ＳnO2薄膜在常温下对ＮＯx具有较好的灵敏度的选择性，并具有较好的响应恢复性能，在常温下对Ｈ２Ｓ气体也具有一定的灵敏度。
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| 关 键 词： | sol－gel工艺 Y2O3－SnO2薄膜 制备 气敏元件 气 |
| 文章编号： | 1000-324X(2001)01-0069-06 |
| 收稿时间： | 2000-2-16 |
| 修稿时间： | 2000年2月16日 |
Preparation and Characterization of Room Temperature NO2 Sensitive Y2O3-SnO2 Sol-Gel Thin Films |
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| FANG Guo-Jia,LIU Zu-Li,JI Xiang-Dong,WANG Han-Zhong,HUANG Yi-Jun,YAO Kai-Lun.Preparation and Characterization of Room Temperature NO2 Sensitive Y2O3-SnO2 Sol-Gel Thin Films[J].Journal of Inorganic Materials,2001,16(1):69-74. |
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| Authors: | FANG Guo-Jia LIU Zu-Li JI Xiang-Dong WANG Han-Zhong HUANG Yi-Jun YAO Kai-Lun |
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| Affiliation: | 1.NationalLabofLaserTechnology;HuazhongUnlv.ofScience&Technology;Wuhan430074;China;2.DepartmentofPhysics;HuazhongUniv.ofScience&Technology,Wuhan430074,China;3.InformationandFunctionalMaterialsResearchGroup,XiaofanUniversity,Xiangfan441053,China |
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| Abstract: | Pure and Y2O3 doped SnO2 gas sensitive thin films were prepared by the sol-gel technique by using non-alkoxide SnCl2·2H2O ) Y(NO3)3·6H2O as precursors. The thermal decomposition and crystallization process of 1mol%Y2O3-SnO2 thin films and the effect of doping amount on the electrical and gas sensitive properties of SnO2 thin films were studied. The Y2O3-SnO2 film shows novel gas sensing properties (good sensitivity, high selectivity and quick response behavior) toward low concentration of NO2 at room temperature. |
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| Keywords: | Y2O3 doped SnO2 thin films electrical and gas sensitive properties sol-gel technique |
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