| 二氧化钒薄膜的结构、制备与应用 |
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| 引用本文： | 许旻,邱家稳,何延春,李强勇,赵印中,王洁冰.二氧化钒薄膜的结构、制备与应用[J].真空与低温,2001,7(3):136-138. |
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| 作者姓名： | 许旻 邱家稳 何延春 李强勇 赵印中 王洁冰 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 综述了VO2薄膜的结构特点、相变、制备工艺特性,以及薄膜研究、应用和开发现状,认为VO2薄膜具有较好的开发前景.
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| 关 键 词： | 薄膜 结构 特性 制备 |
| 文章编号： | 1006-7086(2001)03-0136-03 |
| 修稿时间： | 2001年4月5日 |
STRUCTURE AND PREPARATION AND APPLICATION FOR VANADIUM DIOXIDE THIN FILMS |
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| XU Min,QIU Jia_wen,HE Yan_chun,LI Qiang_yong,ZHAO Yin_zhong,WANG Jie_bing.STRUCTURE AND PREPARATION AND APPLICATION FOR VANADIUM DIOXIDE THIN FILMS[J].Vacuum and Cryogenics,2001,7(3):136-138. |
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| Authors: | XU Min QIU Jia_wen HE Yan_chun LI Qiang_yong ZHAO Yin_zhong WANG Jie_bing |
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| Abstract: | The micro_structure ,the phase transition,preparationand processing properties of VO 2 thin films are described.The pressent situation,development and application of VO 2thin film are given.There will be a good developing prospect in VO 2 thin film. |
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| Keywords: | thin film structure properties preparation application |
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