| 激光诱发前向转移技术在电子制造领域的应用 |
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| 引用本文： | 刘威,王春青,田艳红,窦广斌,叶交托. 激光诱发前向转移技术在电子制造领域的应用[J]. 电子工艺技术, 2013, 0(2) |
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| 作者姓名： | 刘威 王春青 田艳红 窦广斌 叶交托 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室,黑龙江哈尔滨150001
2. 英国帝国理工大学电子与电气工程系,伦敦SW7 2BT |
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| 摘 要： | 激光诱发前向转移是基于激光的诱导作用实现微量物质转移的技术.转移过程中激光与薄膜材料发生相互作用,使薄膜从源透明基板上剥离,转移到目标基板上,发生转移的薄膜最终在目标基板上发生沉积.作为微细加工的一种手段,激光诱发前向转移技术具备制作微小结构的能力,能实现金属、有机物、半导体和生物材料等多种材料的转移和图形制作,在电子制造领域有着广阔的应用前景.
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| 关 键 词： | 激光诱发转移技术 微细加工 薄膜 电子制造 |
Application of Laser Induced Forward Transfer Technology in Field of Electronics Fabrication |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Laser induced forward transfer Micromachining Thin film Electronics fabrication |
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