| 电子束热蒸发非晶硅薄膜红外光学特性 |
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| 引用本文： | 潘永强,黄国俊. 电子束热蒸发非晶硅薄膜红外光学特性[J]. 红外与激光工程, 2011, 40(11): 2233-2237 |
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| 作者姓名： | 潘永强 黄国俊 |
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| 作者单位： | 西安工业大学光电工程学院,陕西西安,710032 |
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| 基金项目： | 陕西省教育厅专项科研计划项目 |
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| 摘 要： | 采用Ar+离子束辅助电子束热蒸发技术制备非晶硅(a-Si)薄膜,利用正交实验研究了薄膜红外光学常数与工艺参数之间的关系.采用椭偏仪和分光光度计分析了薄膜沉积速率、基底温度和工作真空度对非晶硅薄膜的折射率和消光系数的影响.实验结果表明:影响a-Si薄膜光学特性的主要因素是沉积速率和基底温度,工作真空度的影响最小.随着沉积...
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| 关 键 词： | 非晶硅薄膜 电子束蒸发 红外光学特性 |
Infrared optical properties of amorphous silicon films deposited by electron beam evaporation |
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| Pan Yongqiang,Huang Guojun. Infrared optical properties of amorphous silicon films deposited by electron beam evaporation[J]. Infrared and Laser Engineering, 2011, 40(11): 2233-2237 |
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| Authors: | Pan Yongqiang Huang Guojun |
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