| 面向医疗微系统应用的基于引线键合仪的碳纳米管转移集成工艺方法 |
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| 引用本文： | 王晓晶,罗晓亮,王浩旭,尹建程,胡振峰,梁秀兵. 面向医疗微系统应用的基于引线键合仪的碳纳米管转移集成工艺方法[J]. 电子学报, 2022, 50(4): 984-989. DOI: 10.12263/DZXB.20211001 |
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| 作者姓名： | 王晓晶 罗晓亮 王浩旭 尹建程 胡振峰 梁秀兵 |
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| 作者单位： | 军事科学院国防科技创新研究院前沿交叉技术研究中心,北京100071 |
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| 摘 要： | 本文提出了一种利用标准引线键合仪实现碳纳米管材料转移的异质集成工艺方法,并初步验证了其应用于制备微型X射线源器件阴极的可行性.所提出的碳纳米管异质集成方法基于标准的球焊-楔焊(ball bond-stitch bond)工艺流程,可将碳纳米管从其常规生长基底转移至球焊过程生成的金属球上,并最终共同转移集成至目标器件基底...
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| 关 键 词： | 引线键合 异质集成 碳纳米管 场发射 X射线源 创伤最小化医疗器件 |
Transfer and Integration of Carbon Nanotubes Using a Wire Bonder for Application in Medical Microsystems |
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| WANG Xiao-jing,LUO Xiao-liang,WANG Hao-xu,YIN Jian-cheng,HU Zhen-feng,LIANG Xiu-bing. Transfer and Integration of Carbon Nanotubes Using a Wire Bonder for Application in Medical Microsystems[J]. Acta Electronica Sinica, 2022, 50(4): 984-989. DOI: 10.12263/DZXB.20211001 |
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| Authors: | WANG Xiao-jing LUO Xiao-liang WANG Hao-xu YIN Jian-cheng HU Zhen-feng LIANG Xiu-bing |
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