| 薄基材过滤片飞秒激光精密加工 |
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| 引用本文： | 武胜勇,麻剑平,孙慧丽,张志伟,刘国梁.薄基材过滤片飞秒激光精密加工[J].电加工与模具,2022(z1):41-45. |
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| 作者姓名： | 武胜勇 麻剑平 孙慧丽 张志伟 刘国梁 |
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| 作者单位： | 北京控制工程研究所,北京 100190 |
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| 摘 要： | 利用飞秒激光非热熔性烧蚀的加工特性,以钛箔材质的过滤片零件为加工对象,研究了飞秒激光在钛箔材料微槽结构及外形加工方面的应用,并针对加工需求开发了易氧化薄基材的定位夹具和防氧化技术.试验中通过优化离焦量、加工速度和激光能量等参数,得到了过滤片边缘形貌和底部形貌受激光能量密度的影响规律,最终实现了过滤片零件的精密加工,为薄...
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| 关 键 词： | 飞秒激光 扫描振镜法 微槽结构 钛箔 |
Precision Machining of Thin Substrate Filter by Femtosecond Laser |
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| WU Shengyong,MA Jianping,SUN Huili,ZHANG Zhiwei,LIU Guoliang.Precision Machining of Thin Substrate Filter by Femtosecond Laser[J].Electromachining & Mould,2022(z1):41-45. |
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| Authors: | WU Shengyong MA Jianping SUN Huili ZHANG Zhiwei LIU Guoliang |
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