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| 微控器件的MEMS结构仿真与纳米材料应用研究 | |
| 作者姓名： | 葛羽屏 纪江明 顾晓清 王伟明 李成诗 郭方敏 |
| 作者单位： | 1. 上海电子信息职业技术学院电,子工程系,上海,201411 2. 复旦大学,上海,200433 3. 华东师范大学信息学院,上海,200062 |
| 基金项目： | 上海市科教委"上海高校选拔培养优秀青年教师科研专项基金" |
| 摘 要： | 对新型微纳流控结构进行了分析,对相关材料进行了改进设想,对引入纳米多孔材料加以性能改善进行了基础性研究,并给出了实体照片反映其生长机理;从功能理解角度对有限元分析软件之分析原理、分析进程、运行机理进行了分析,并给出了相关模拟结果. |
| 关 键 词： | 微机械电子系统MEMS 微流控 有限元法 围堰结构 纳米多孔硅 |
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