激光化学气相沉积(连载之二) |
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作者姓名: | 张魁武 |
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作者单位: | 北京机床研究所,北京,100102 |
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摘 要: | 介绍了激光化学气相沉积的基本原理,较详细地讲述了制备金属薄膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氢化非晶硅薄膜、化合物半导体薄膜及绝缘体薄膜等所用的激光器、工艺参数以及薄膜的性能.
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关 键 词: | 激光化学气相沉积 激光诱导 激光辅助 光解激光 热解激光 光热共解激光 |
文章编号: | 0254-6051(2007)07-0094-08 |
修稿时间: | 2006-12-02 |
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