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| 激光化学气相沉积(连载之二) | |
| 引用本文： | 张魁武.激光化学气相沉积(连载之二)[J].金属热处理,2007,32(7):94-101. |
| 作者姓名： | 张魁武 |
| 作者单位： | 北京机床研究所,北京,100102 |
| 摘 要： | 介绍了激光化学气相沉积的基本原理,较详细地讲述了制备金属薄膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氢化非晶硅薄膜、化合物半导体薄膜及绝缘体薄膜等所用的激光器、工艺参数以及薄膜的性能. |
| 关 键 词： | 激光化学气相沉积 激光诱导 激光辅助 光解激光 热解激光 光热共解激光 |
| 文章编号： | 0254-6051（2007）07-0094-08 |
| 修稿时间： | 2006-12-02 |
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