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| 热激励硅谐振梁压力传感器开环测试系统设计 | |
| 引用本文： | 许弟建,王定军,徐世六.热激励硅谐振梁压力传感器开环测试系统设计[J].微电子学,2006,36(6):729-731,762. |
| 作者姓名： | 许弟建 王定军 徐世六 |
| 作者单位： | 1. 重庆大学,光电工程学院,重庆,400044;模拟集成电路国家重点实验室 2. 中国电子科技集团公司,第二十四研究所,重庆,400060 3. 模拟集成电路国家重点实验室;中国电子科技集团公司,第二十四研究所,重庆,400060 |
| 摘 要： | 设计了一个开环测试系统,利用锁相放大器能够对微弱信号进行有效检测的特点,采用交流激励、二倍频拾振的方法,实现了对热激励硅谐振梁压力传感器谐振输出的微弱信号的检测。该测试系统能够快速测得传感器的幅频特性曲线;通过处理,得到传感器的压力-频率特性。整个测试过程由程序控制实现。 |
| 关 键 词： | 谐振梁压力传感器 微弱信号检测 锁相放大器 开环测试 |
| 文章编号： | 1004-3365（2006）06-0729-03 |
| 收稿时间： | 2006-05-21 |
| 修稿时间： | 2006-05-212006-09-21 |
An Open-Loop Test System for Si-Based Thermally Exited Resonant Beam Pressure Sensor |
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| XU Di-jian,WANG Ding-jun,XU Shi-liu.An Open-Loop Test System for Si-Based Thermally Exited Resonant Beam Pressure Sensor[J].Microelectronics,2006,36(6):729-731,762. | |
| Authors: | XU Di-jian WANG Ding-jun XU Shi-liu |
| Affiliation: | 1. Institute of Optoelectronic Engineering, Chongqing University, Chongqing 400044, P, R, China 2. National Laboratory of Analog Integrated Circuits, Chongqing 400060, P. R. China; 3, Sichuan Institute of Solid-State Circuits, CETC, Chongqing 400060, P. R. China |
| Abstract: | An open-loop test system is designed,which,with a phase-locked amplifier,uses AC driving source and double frequency pickup to detect weak signals from the Si-based thermally exited resonant beam pressure sensor.This test system can test amplitude-frequency response characteristics rapidly,and pressure-frequency response characteristics can be calculated accordingly.The entire test process is programmably controlled. |
| Keywords: | Resonant beam pressure sensor Weak signal detection Phase-locked amplifier Open-loop test |
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