基于激光偏置的齿轮精密测量

在进行齿轮激光测量时，激光束所在的空间直线通常穿过齿轮中心，测量值为激光位移传感器至齿轮渐开线齿面的空间距离。但激光束与被测齿面法矢量的夹角过大，影响测量的精度和数据的稳定性。因此，提出一种激光偏置的齿轮精密测量，使激光束相对齿轮轴线偏置一段距离，激光束与齿面测量点法矢量夹角减小，有效提高激光测量精度与稳定性。计算出了最佳的偏置量范围，通过检测齿轮齿形分析了齿轮的齿距偏差和螺旋线偏差。利用理论推算与实验验证的方法，得出该种测量方法测量精度可达到1μm,测量数据波动小，适用于齿轮高精度测量。