投影莫尔技术应用于静态物面微小变形测试的研究

物面微小变形测试在电子制造、逆工程等领域具有重要意义。本文一改传统机械式相移结构,设计了一种全新的投影莫尔三维轮廓投影成像测试系统。首次利用计算机实时控制变光源实时控制相移,大大提高了系统测试速度（全场测量：4－8sec）。采用垂直投影,对CCD倾斜成像机构,提高了光场的均匀性和可测物范围（测量面积最大可为300＊300mm^2）。另外该系统还具有光强照明均匀性好等特点。系统测量精度可达40μm。文中详细分析了系统关键技术,并给出了具体实验结果。结果表明系统的设计原理是成功的。