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反应溅射氮化硅的特性
引用本文：高新中.反应溅射氮化硅的特性[J].山东半导体技术,1993(3):18-22.
作者姓名：高新中
摘    要：
关 键 词：化学气相沉积  氮化硅  集成电路
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