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恒电流电沉积法制备Cu-In薄膜
引用本文:李健,朱洁. 恒电流电沉积法制备Cu-In薄膜[J]. 金属学报, 2006, 42(6): 667-672
作者姓名:李健  朱洁
作者单位:北京科技大学新金属材料国家重点实验室,北京,100083
基金项目:北京科技大学校科研和教改项目
摘    要:以金属Ti为阳极,不锈钢薄片和镀Mo玻璃为阴极,采用恒电流电沉积的方法制备了化学计量比为1:1、厚度为1μm且致密均匀的CU—In薄膜.分析了镀液离子浓度、电流密度、络合剂含量及添加剂种类对薄膜成分及形貌的影响.在除电流密度外其它工艺条件相同的情况下,采用不同阴极材料为衬底沉积Cu—In薄膜时,薄膜形貌、成分无差别,且电流密度对薄膜的形貌和成分控制起着关键的作用.此外,在镀液离子低浓度范围内,及Cu/In离子浓度比不变的前提下,镀液中金属离子总浓度的改变不会影响镀层的成分和形貌;十二烷基硫酸钠和苯亚磺酸钠可作为理想的辅助添加剂,能改善薄膜形貌,使其表面均匀、规整.由该方法制备的CU—In预置膜可以进一步硒化得到理想的CuInSe2薄膜.

关 键 词:Cu-In合金膜  电沉积  表面形貌  合金成分
文章编号:0412-1961(2006)06-0667-06
收稿时间:2005-09-20
修稿时间:2005-09-202005-12-20

PREPARATION OF Cu-In FILM BY ELECTRODEPOSITION UNDER CONSTANT CURRENT
LI Jian,ZHU Jie. PREPARATION OF Cu-In FILM BY ELECTRODEPOSITION UNDER CONSTANT CURRENT[J]. Acta Metallurgica Sinica, 2006, 42(6): 667-672
Authors:LI Jian  ZHU Jie
Affiliation:State Key Laboratory for Advanced Metals and Materials, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083
Abstract:
Keywords:Cu-In alloy film   electrodeposition   surface morphology   alloy composition
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