| Zn-Sn-O透明导电膜的制备和光电性质 |
| |
| 引用本文： | 马瑾,黄树来,计峰,余旭浒,王玉恒,马洪磊. Zn-Sn-O透明导电膜的制备和光电性质[J]. 稀有金属, 2004, 28(3): 519-521 |
| |
| 作者姓名： | 马瑾 黄树来 计峰 余旭浒 王玉恒 马洪磊 |
| |
| 作者单位： | 山东大学物理与微电子学院,山东,济南,250100 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 ( 60 2 70 44 )，教育部科学技术研究重点项目 ( 0 2 165 ) |
| |
| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在 70 5 9玻璃衬底上低温制备出Zn Sn O透明导电薄膜。制备薄膜为非晶结构 ,并且具有很好的稳定性 ,与玻璃衬底具有良好的附着性。薄膜主要是依靠膜中的氧空位导电 ,薄膜的电阻率强烈地依赖溅射气体中的氧分压。制备薄膜的最低电阻率为 2 2 7×10 - 3Ω·cm ,在可见光范围内的平均透过率达超过 90 %。
|
| 关 键 词： | 透明导电膜 Zn-Sn-O 射频磁控溅射 |
| 文章编号： | 0258-7076(2004)03-0519-03 |
Preparation and Properties of Conducting Transparent ZnO-SnO2 Films Deposited at Room Temperature |
| |
| Ma Jin,Huang Shulai,Ji Feng,Yu Xuhu,Wang Yuheng,Ma Honglei. Preparation and Properties of Conducting Transparent ZnO-SnO2 Films Deposited at Room Temperature[J]. Chinese Journal of Rare Metals, 2004, 28(3): 519-521 |
| |
| Authors: | Ma Jin Huang Shulai Ji Feng Yu Xuhu Wang Yuheng Ma Honglei |
| |
| Affiliation: | Ma Jin~*,Huang Shulai,Ji Feng,Yu Xuhu,Wang Yuheng,Ma Honglei |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | transparent conducting film ZnO-SnO_2 r.f. magnetron sputtering |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
