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| LSA—1型电弧离子镀膜机结构研制 | |
| 作者姓名： | 刘玉魁 曹军 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所，兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 简述了电弧离子镀的进展及其特点;介绍了它的工作原理,着重论述了电弧离子镀膜机的基本结构及作用和真空泵的选择,最后指出了它的应用前景。 |
| 关 键 词： | 离子镀膜 电弧 真空设备 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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