大功率CO激光器实时风机控制系统研究

对大功率连续波一氧化碳激光器工作气体的流速实时控制问题，进行了研究。采用ＳＡＮＫＥＮ马达变频调速器ＳＶＦ－１１３型，实现变频调速。根据实际问题，设计了相应的隔离驱动电路及相应的软件系统。实验证明，这种方法可靠、稳定。从根本上消除了因过压，欠压及风机失速等问题，对真空中（３９９０Ｐａ～１３３００Ｐａ）风机造成破坏的隐患，且保证了在强电环境下，微机弱电系统的可靠运行。