| 微波等离子CVD法在石英玻璃上生长金刚石薄膜 |
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| 引用本文： | 朱建勇,李力,柴欣,董学斌. 微波等离子CVD法在石英玻璃上生长金刚石薄膜[J]. 玻璃与搪瓷, 2002, 30(5): 20-22. DOI: 10.3969/j.issn.1000-2871.2002.05.002 |
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| 作者姓名： | 朱建勇 李力 柴欣 董学斌 |
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| 作者单位： | 武汉理工大学复合材料复合新技术国家重点实验室,湖北,武汉,430070 |
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| 摘 要： | 用X射线衍射、Raman谱和光电子能谱对石英玻璃上的金刚石薄膜进行分析,对于难用化学气相沉积在玻璃上生长金刚石薄膜的原因提出了一种解释.
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| 关 键 词： | 化学气相沉积法 金刚石薄膜 X射线 拉曼光谱 光电子能谱 |
| 文章编号： | 1000-2871(2002)05-0020-03 |
| 修稿时间： | 2002-01-28 |
Diamond Films Grown on the Quartz Glass by MWCVD |
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| Abstract: | The diamond films grown on the quartz glass were analyzed by XRD, Raman and XPS. The difficulties to grow diamond films on the quartz glass were also explained in the present paper. |
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| Keywords: | CVD Diamond films XRD Raman XPS |
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