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多孔硅片有望成为廉价传感器
引用本文：杨英惠.多孔硅片有望成为廉价传感器[J].现代材料动态,2002(11):11-11.
作者姓名：杨英惠
摘    要：
关 键 词：多孔硅片  传感器  金属化工艺  腐蚀  电化学工艺
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