LiNi_(0.5)Co_(0.2)Mn_(0.3)O_2陶瓷靶材制备性能研究

采用传统的常压固相烧结的方法制备了LiNi_(0.5)Co_(0.2)Mn_(0.3)O_2陶瓷靶材。研究了不同烧结温度对于LiNi_(0.5)Co_(0.2)Mn_(0.3)O_2(NCM,523)陶瓷靶断面形貌、物相及晶型结构、相对密度和抗弯强度的影响。通过对NCM陶瓷靶材进行分析表征,研究结果表明,在烧结温度为1 100℃时,靶材具有最优的各项性能,其相对密度为98.8%,抗弯强度为65.7MPa,其各项力学性能均已经到达射频磁控溅射镀膜机所需性能,适合于工业化生产。