硅电阻率与杂质浓度之间关系换算程序

上冶二厂技监科硅检验站,最近引进一台美国MDC公司的RM-1600型自动C-V测试仪。该仪配有IBM-PC个人计算机,能自动测试硅外延片,砷化镓和MOS器件等四十多种参数。偏压能从0加到100V,并能克服漏电流对测试的影响。目前主要用于外延片C-V特性曲线和杂质浓度取向分布的测试。