| CVD法合成SiC晶须的实验研究 |
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| 引用本文： | 陈卫武,邹宗树,王天明.CVD法合成SiC晶须的实验研究[J].金属学报,1997,33(6):643-649. |
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| 作者姓名： | 陈卫武 邹宗树 王天明 |
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| 作者单位： | 东北大学!沈阳，110006，东北大学!沈阳，110006，东北大学!沈阳，110006 |
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| 摘 要： | 利用简单的实验设备，特殊的金属丝作触媒，以ＳｉＯ２和Ｃ为原料，利用碳热还原反应生成的ＳｉＯ和ＣＯ，通过ＣＶＤ的方法快速合成α－ＳｉＣ晶须，用光学显微镜研究了晶须的生长速度，通过ＴＥＭ研究α－ＳｉＣ晶须的结构和生长方式。讨论了这种方法中α－ＳｉＣ晶须生长的热力学条件，机理及生长动力学模型。
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| 关 键 词： | CVD 合成 热力学 动力学模型 碳化硅 晶须 |
| 收稿时间： | 1997-06-18 |
| 修稿时间： | 1997-06-18 |
NEW PROCESS FOR SYNTHETIC SiC WHISKERS BY CVD |
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| CHEN Weiwu,ZOU Zongshu,WANG Tianming.NEW PROCESS FOR SYNTHETIC SiC WHISKERS BY CVD[J].Acta Metallurgica Sinica,1997,33(6):643-649. |
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| Authors: | CHEN Weiwu ZOU Zongshu WANG Tianming |
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| Affiliation: | CHEN Weiwu,ZOU Zongshu,WANG Tianming(Northeastern University,Shenyang) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | synthesis of SiC whisker CVD method growth rate crystalline characteristics kinetic model |
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