| Pd／Ag双层膜系统扩散过程的XRD结构深度分布分析 |
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| 引用本文： | 陶琨,李彬,骆建.Pd／Ag双层膜系统扩散过程的XRD结构深度分布分析[J].金属学报,1997,33(7):742-748. |
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| 作者姓名： | 陶琨 李彬 骆建 |
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| 作者单位： | 清华大学!北京，100084，清华大学!北京，100084，清华大学!北京，100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金!59471066 |
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| 摘 要： | 研究了Ｘ射线衍射的结构深度分布分析新方法，该方法以不同的入射角入射，测量各物查的衍射谱，进而解出中确定深度处薄层的Ｘ射线衍射谱，从而可无损和定量地得到各深度处的衍射线的角度位置，强度和线型等全部结构信息，此方法可是到各确定深度处 结构信息，而不是由表面到某深度处的平均结构信息；并且适用于具有择优取向的样品和吸收系数随深度而变化的样品。
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| 关 键 词： | 结构深度分布 X射线衍射 薄膜 双层膜 XRD |
| 收稿时间： | 1997-07-18 |
| 修稿时间： | 1997-07-18 |
A STUDY OF INTERDIFFUSION OF Pd/Ag BILAYER THIN FILMS BY X-RAY DIFFRACTION STRUCTURE DEPTH PROFILING |
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| TAO Kun,LI Bin,LUO Jian.A STUDY OF INTERDIFFUSION OF Pd/Ag BILAYER THIN FILMS BY X-RAY DIFFRACTION STRUCTURE DEPTH PROFILING[J].Acta Metallurgica Sinica,1997,33(7):742-748. |
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| Authors: | TAO Kun LI Bin LUO Jian |
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| Affiliation: | TAO Kun,LI Bin,LUO Jian (Tsinghua University,Beijing ) |
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| Keywords: | structure depth profiling XRD Pd/Ag thin films |
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