| 基于CCD工艺的模型参数提取测试图形设计 |
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| 引用本文： | 祝晓笑,石念,杨洪,翁雪涛. 基于CCD工艺的模型参数提取测试图形设计[J]. 半导体光电, 2011, 32(4): 492-494,572 |
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| 作者姓名： | 祝晓笑 石念 杨洪 翁雪涛 |
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| 作者单位： | 重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 介绍了一套基于CCD工艺的模型参数提取用测试图形（Testchip）设计方法。该Testchip的设计充分考虑了CCD工艺特征、中测测试条件、CCD放大器特性等各种关键因素,并在对应的工艺线进行流片,得到了完整的测试数据。
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| 关 键 词： | CCD 模型参数提取 测试图形 |
Design of Testchip for Model Parameter Extraction Based on CCD Process |
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| ZHU Xiaoxiao,SHI Nian,YANG Hong,WENG Xuetao. Design of Testchip for Model Parameter Extraction Based on CCD Process[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2011, 32(4): 492-494,572 |
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| Authors: | ZHU Xiaoxiao SHI Nian YANG Hong WENG Xuetao |
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| Affiliation: | (Chongqing Optoelectronics Research Institute,Chongqing 400060,CHN) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CCD model parameter extraction test chip |
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