| 氮掺杂氟化非晶碳薄膜的拉曼光谱结构研究 |
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| 引用本文： | 张云芳. 氮掺杂氟化非晶碳薄膜的拉曼光谱结构研究[J]. 绝缘材料, 2006, 39(4): 48-50,55 |
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| 作者姓名： | 张云芳 |
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| 作者单位： | 江苏科技大学数理学院,江苏,镇江,212003 |
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| 摘 要： | 以CF4、CH4和N2的混合气体为源气体,采用PECVD技术,在不同源气体流量比下制备了α-C:F:N薄膜。对制备的薄膜进行了真空退火处理,并对退火前后的薄膜进行了拉曼结构分析。拉曼分析表明:α-C:F:N薄膜是由sp2和sp3混合结构组成的非晶碳薄膜;随源气体流量比的增大,α-C:F:N薄膜中sp2键的含量增加,交联结构加强,薄膜的热稳定性得到提高;对低流量比下沉积的薄膜,退火处理可以提高其热稳定性。
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| 关 键 词： | 等离子体增强化学气相沉积 氮掺杂氟化非晶碳薄膜 拉曼光谱 |
| 文章编号： | 1009-9239（2006）04-0048-04 |
| 收稿时间： | 2006-03-10 |
| 修稿时间： | 2006-03-10 |
Structural Analysis of Nitrogen Doped Fluorinated Amorphous Carbon Thin Films by Raman Spectroscopy |
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| ZHANG Yun-fang. Structural Analysis of Nitrogen Doped Fluorinated Amorphous Carbon Thin Films by Raman Spectroscopy[J]. Insulating Materials, 2006, 39(4): 48-50,55 |
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| Authors: | ZHANG Yun-fang |
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