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| 几种改进的分子束外延（MBE）技术 | |
| 作者姓名： | 郭宝增 |
| 作者单位： | 河北大学电子系 |
| 摘 要： | 本文介绍了最近几年来发展的几种改进的分子束外延(MBE)生长技术,包括间隔生长技术、温度开关技术、迁移增强外延(MEE)、气源分子束外延(GSMBE)等。比较详细地介绍了它们的原理,并给出了主要实验结果。 |
| 关 键 词： | 分子束外延 MBH 生长技术 半导体 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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