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| 惯性冲击式压电精密定位装置的设计 | |
| 作者单位： | ;1.南京航空航天大学机械结构力学与控制国家重点实验室 |
| 摘 要： | 为了实现对负载纳米级的精密定位,提出了一种利用压电材料作为驱动元件的三驱动足精密定位装置。设计了基于惯性冲击原理的精密定位装置的结构,介绍了其具体工作过程,并对驱动足的工作过程进行了理论分析。制作样机并搭建了实验系统,采用显微镜物镜进行了定位性能的测试。实验结果表明:在锯齿波电压信号的驱动下,通过改变驱动电压信号的占空比,该精密定位装置能够实现所夹持负载的双向直线运动,当电压值为80 V;电压频率为80 Hz时,该装置的位移分辨率可以达到100 nm的精度,且运行平稳,工作性能良好,步距均匀,可以实现所夹持负载纳米级的定位要求。 |
| 关 键 词： | 压电材料 精密定位 惯性冲击 位移分辨率 |
Design of Piezoelectric Precision Positioning Device based on Inertial Impaction |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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