| 喷雾热解法制备SnO2:Sb透明导电薄膜 |
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| 引用本文： | 张聚宝,侯春,翁文剑,程逵,杜丕一,沈鸽,汪建勋,韩高荣. 喷雾热解法制备SnO2:Sb透明导电薄膜[J]. 硅酸盐学报, 2003, 31(11): 1063-1068 |
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| 作者姓名： | 张聚宝 侯春 翁文剑 程逵 杜丕一 沈鸽 汪建勋 韩高荣 |
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| 作者单位： | 浙江大学材料科学与工程系,杭州,310027;浙江工业大学理学院,杭州,310014 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2001AA320202) |
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| 摘 要： | 采用喷雾热解技术制备出了光电性能优良的SnO_2:Sb透明导电薄膜,对薄膜的结构特性、光电性质以及制备条件对薄膜性能的影响进行了研究。并进一步研究了喷雾热解法中薄膜的形成过程和工艺参数对薄膜微观结构和性能的影响。实验结果表明:在Sb掺杂量为11％(摩尔分数)和基板温度为500℃的条件下,SnO_2:Sb薄膜具有最佳的光电性能,平均可见光透过率为82％,方块电阻达13.4Ω/□,电阻率为4.9×10~(-4)Ω·cm。
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| 关 键 词： | 透明导电薄膜 掺锑二氧化锡 喷雾热解 光电性能 |
| 文章编号： | 0454-5648(2003)11-1063-06 |
| 修稿时间： | 2003-03-31 |
TRANSPARENT CONDUCTIVE SnO2 : Sb THIN FILM PREPARED BY SPRAY PYROLYSIS METHOD |
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| ZHANG Jubao,HOU Chun,WENG Wenjian,CHENG kui,DU Piyi,SHEN Ge,WANG Jianxun,HAN Gaorong. TRANSPARENT CONDUCTIVE SnO2 : Sb THIN FILM PREPARED BY SPRAY PYROLYSIS METHOD[J]. Journal of The Chinese Ceramic Society, 2003, 31(11): 1063-1068 |
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| Authors: | ZHANG Jubao HOU Chun WENG Wenjian CHENG kui DU Piyi SHEN Ge WANG Jianxun HAN Gaorong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | transparent conductive thin films antimony doped tin dioxide spray pyrolysis photoelectric performance |
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