场致电子发射阴极及其制备方法的研究 |
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引用本文: | 袁泽明,高锐敏,姚宁. 场致电子发射阴极及其制备方法的研究[J]. 现代显示, 2009, 20(11): 45-49 |
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作者姓名: | 袁泽明 高锐敏 姚宁 |
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作者单位: | 1. 河南财经学院计算机与信息工程学院,河南,郑州,450002 2. 河南商业高等专科学校基础部,河南郑州,450044 3. 郑州大学材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052 |
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基金项目: | 教育部科学技术研究重点项目资助 |
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摘 要: | 文章对石墨、金刚石、非晶碳及碳纳米管等常用场发射冷阴极材料的结构、在场发射方面的应用和发展进行了介绍和分析,认为碳纳米管是场发射冷阴极的首选材料。并结合其原理和性能对电弧放电法、脉冲激光熔蒸法、化学气相沉积法、等离子增强化学气相沉积法等场发射阴极制备方法进行了探讨,认为等离子增强化学气相沉积法因可以实现低温原位生长而具有较好的发展趋势。
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关 键 词: | 场致电子发射 阴极材料 制备方法 |
收稿时间: | 2009-08-18 |
A Study on the Cathodes of FED and Their Synthesis |
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Abstract: | The structure and the development on field emission of the graphite,diamond,amorphous carbon and CNTs are analyzed,the results show that CNTs S the best cathode materiaI for the FED.The synthesized methods Iike EAD,PLA,CVD,PECVD are discussed according to their principles and characte ristics.the results show that PECVD iS the most promising,because which can deposit on electrode at a low temperature. |
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Keywords: | field emission cathode material synthesized technology |
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