| MOCVD热力学分析软件的开发 |
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| 引用本文： | 张冶金,曹小光,刘彩霞,汪爱军,陈维友,刘式墉.MOCVD热力学分析软件的开发[J].高技术通讯,2000,10(1):62-65. |
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| 作者姓名： | 张冶金 曹小光 刘彩霞 汪爱军 陈维友 刘式墉 |
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| 作者单位： | 吉林大学电子工程系,长春,130023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 ( 6 95 870 0 4) |
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| 摘 要： | 报导了最新开发的ＭＯＣＶＤ热力学分析软件－ＭＯＣＶＤＴＡ，它是一个采用目前比较 ＶＣＳ算法对ＭＯＣＶＤ的稳态系统进行单参数及双参数分析的软件。介绍了其功能，特点，使用方法以及适用条件，并且以Ａｓ－Ｈ系统及Ｇａ－Ａｓ－Ｃ－Ｈ系统为例进行了模拟，得到了很好的模拟结果。
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| 关 键 词： | MOCVD 热力学 分析软件 半导体激光器 生长工艺 |
A CAD Software for Thermodynamic Analysis of MOCVD System |
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| Zhang Yejin,Cao Xiaoguang,Liu Caixia,Wang Aijun,Chen Weiyou,Liu Shiyong.A CAD Software for Thermodynamic Analysis of MOCVD System[J].High Technology Letters,2000,10(1):62-65. |
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| Authors: | Zhang Yejin Cao Xiaoguang Liu Caixia Wang Aijun Chen Weiyou Liu Shiyong |
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| Abstract: | MOCVDTA, a new CAD software for thermodynamic analysis of MOCVD System ,is reported An advanced algorithm called VCS is used in the designation of the software One parameter analysis and two parameter analysis are finished in two certain systems Its function ,characteristic ,usage and limited condition are presented Take As H and As Ga C H for examples, and the good simulating results are obtained |
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| Keywords: | MOCVD Thermodynamics |
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