| MEMS集成应用的纳米结构PZT厚膜形成工艺研究 |
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| 引用本文： | 刘红梅,邱成军,张德庆,张辉军,曹茂盛. MEMS集成应用的纳米结构PZT厚膜形成工艺研究[J]. 高技术通讯, 2006, 16(6): 606-609 |
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| 作者姓名： | 刘红梅 邱成军 张德庆 张辉军 曹茂盛 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工程大学材料科学与工程系,哈尔滨,150001;黑龙江大学集成电路重点实验室,哈尔滨,150001;哈尔滨工程大学材料科学与工程系,哈尔滨,150001;北京理工大学材料科学与工程学院,北京,100081 |
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| 基金项目： | 高比容电子铝箔的研究开发与应用项目 , 海军科技攻关计划 , 黑龙江省科技计划 |
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| 摘 要： | 提出了制备PZT厚膜的一种新的旋转涂覆方法.采用0-3复合法将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料,并与PZT溶胶交替涂覆在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上,使PZT厚度达2μm,并且使PZT表面质量得到了改善.利用XRD和SEM对PZT厚膜的组织和结构进行了表征.得到的薄膜无裂纹,结晶和表面平整度良好,可用于MEMS中微型传感器和微型驱动器的制作.
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| 关 键 词： | nano-PZT 厚膜 MEMS |
| 收稿时间： | 2005-07-14 |
| 修稿时间： | 2005-07-14 |
Study of nano-PZT thick film for MEMS application |
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| Liu Hongmei,Qiu Chengjun,Zhang Deqing,Zhang Huijun,Cao Maosheng. Study of nano-PZT thick film for MEMS application[J]. High Technology Letters, 2006, 16(6): 606-609 |
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| Authors: | Liu Hongmei Qiu Chengjun Zhang Deqing Zhang Huijun Cao Maosheng |
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| Affiliation: | 1 Department of Material Science and Engineering, Harbin Engineering University, Harbin 150001 ;2 Key Lab of integrate circuit, Heilongjiang University, Harbin 150001;3 School of Material Science and Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nano-PZT 厚膜 MEMS |
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