| FROG-LEG型真空机械手的动力学控制研究 |
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| 引用本文： | 黄玉钏,曲道奎,徐方.FROG-LEG型真空机械手的动力学控制研究[J].四川大学学报(工程科学版),2013,45(3):158-163. |
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| 作者姓名： | 黄玉钏 曲道奎 徐方 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室,辽宁沈阳110016;中国科学院研究生院,北京100049
2. 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室,辽宁沈阳110016;沈阳新松机器人自动化股份有限公司,辽宁沈阳110168 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项IC装备机械手及晶圆传输系统系列产品研发与产业(2009ZX02012) |
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| 摘 要： | 为了解决FROG-LEG型真空机械手平稳运行的控制问题,首先根据机械手的结构特点,将该类机械手动力学分为水平和垂直2个方向进行讨论,利用拉格朗日动力学方程建立了2个方向的动力学模型;其次在真空机械手的动力学模型上分析了真空机械手动力源的控制模型——永磁同步电机转子磁链定向的控制模型;最后利用MATLAB的robot工具箱对机械手的运动学进行了仿真,并利用simulink工具箱对真空机械手的动力学补偿进行了仿真实验.仿真结果说明了动力学电流前馈补偿是实现机械手平稳控制的一种有效途径.
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| 关 键 词： | 真空机械手 动力学 拉格朗日方程 转子磁链定向 动力学仿真 |
| 收稿时间： | 9/19/2012 2:33:55 PM |
| 修稿时间： | 4/1/2013 11:46:11 AM |
Study of FROG-LEG Vacuum Manipulators' Dynamics Control |
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| Huang Yuchuan,Qu Daokui and Xu Fang.Study of FROG-LEG Vacuum Manipulators' Dynamics Control[J].Journal of Sichuan University (Engineering Science Edition),2013,45(3):158-163. |
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| Authors: | Huang Yuchuan Qu Daokui and Xu Fang |
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| Affiliation: | Shenyang Institute of Automation |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | vacuum manipulator dynamics Lagrange equation rotor flux oriented simulation of dynamics |
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