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层数对MMIC差分对称圆形螺旋电感的性能影响
引用本文:肖华清,熊祥正,廖成. 层数对MMIC差分对称圆形螺旋电感的性能影响[J]. 微电子学, 2007, 37(4): 507-510
作者姓名:肖华清  熊祥正  廖成
作者单位:西南交通大学,电磁场与微波技术研究所,成都,610031
摘    要:采用基于有限元数值求解Maxwell方程的通用全波电磁(EM)场仿真器HFSS(High Frequency Structure Simulator),结合硅衬底螺旋电感(SIOS)的紧凑集总模型,对差分对称圆形单层双层螺旋电感进行了对比研究。结果表明,前者在品质因数(QF)、自谐振频率(SRF)和3dB带宽(BW)方面明显优于后者,而且前者最大品质因数处的电感值也符合nH量级要求。采用文中参数,前者较后者QF提高56.5%,SRF提高196.8%,BW提高5倍以上,但后者的电感值能达到前者3倍以上。模拟结果与理论分析相吻合。

关 键 词:差分对称  螺旋电感  品质因数  自谐振频率
文章编号:1004-3365(2007)04-0507-04
修稿时间:2006-12-04

Influence of MMIC Differential Symmetric Circular Spiral Inductor''''s Geometric Layers on Circuit Performances
XIAO Hua-qing,XIONG Xiang-zheng,LIAO Cheng. Influence of MMIC Differential Symmetric Circular Spiral Inductor''''s Geometric Layers on Circuit Performances[J]. Microelectronics, 2007, 37(4): 507-510
Authors:XIAO Hua-qing  XIONG Xiang-zheng  LIAO Cheng
Affiliation:Electromagnetics Institute, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, P. R. China
Abstract:
Keywords:MMIC
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