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| 90nm技术进程 | |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 联电90nm铜制程技术顺利产出2003年3月联电宣布客户采用联电90nm铜制程技术的产品顺利产出,此举让联电成为第一家以业界最先进的90nm制程为客户成功推出产品的晶圆专工公司。联电是首家达成此重要里程碑的晶圆专工公司,这完全归功于近几个月来联电在先进制程的重大进展。联电预期客户即将于今年量产此产品。由于具备丰富的0.13μm产品量产经验,联电在转进90nm制程的试产进展顺利。许多首次在0.13μm制程采用的新材料及新技术,皆可应用于90nm制程技术上,包含铜制程及低介电系数材料等。联电的90nm技术将使用9层铜导金属层、三闸氧化层(triple… |
| 关 键 词： | 90nm铜制程技术 联电公司 90nm可编程芯片 赛灵思公司 |
90nm技术进程 |
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