分子束外延制备金单原子台阶样品的工艺参数改进研究 |
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引用本文: | 周志峰,张小敏,毛勤卫.分子束外延制备金单原子台阶样品的工艺参数改进研究[J].计量技术,2019(8). |
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作者姓名: | 周志峰 张小敏 毛勤卫 |
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作者单位: | 常州市计量测试技术研究所;江南石墨烯研究院 |
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摘 要: | 利用常规分子束外延开展单晶金原子台阶标准样品的制备,制备的样品通过扫描隧道显微镜(STM)测试发现,原子台阶数量较少且台阶高度均匀性较差。本课题针对分子束外延制备系统的基底与蒸发源距离、温度、时间、真空度等关键工艺参数进行了改进研究,并利用扫描隧道显微镜(STM)对改进参数后所生长金单原子台阶的质量和高度进行了分析测试,结果表明通过调节基底与蒸发源距离、温度、时间和真空度等工艺过程参数能够实现云母基底金原子的可控生长,为单原子台阶标准物质的制备提供了实践经验。
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