光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计 |
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引用本文: | 马敬,齐月静,卢增雄,苏佳妮,杨光华,齐威,张清洋,陈进新.光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计[J].中国激光,2019(7). |
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作者姓名: | 马敬 齐月静 卢增雄 苏佳妮 杨光华 齐威 张清洋 陈进新 |
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作者单位: | 中国科学院光电研究院;中国科学院大学光电学院;中国科学院微电子研究所 |
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摘 要: | 根据光谱共焦位移传感器的工作原理及线性轴向色散条件,选择3种色散物镜用玻璃材料N-KZFS11、N-SF66和N-PK52A,并结合像差理论设计了由3个单透镜和2个双胶合透镜组合成的线性色散物镜初始结构。利用Zemax光学设计软件对色散物镜的初始结构进行优化和公差分析。结果表明:在450~650 nm波长范围内,各波长弥散斑均远小于艾里斑,色散物镜测量范围可达1.05 mm,轴向色散与波长之间的线性判定系数R~2达0.997,理论分辨率可达105 nm。
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