| 光纤微机电压力传感器的设计 |
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| 引用本文： | 李明 王鸣 王婷婷 聂守平. 光纤微机电压力传感器的设计[J]. 南京师范大学学报, 2004, 4(4): 20-24 |
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| 作者姓名： | 李明 王鸣 王婷婷 聂守平 |
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| 作者单位： | 南京师范大学,物理科学与技术学院,江苏,南京,210097;南京师范大学,物理科学与技术学院,江苏,南京,210097;南京师范大学,物理科学与技术学院,江苏,南京,210097;南京师范大学,物理科学与技术学院,江苏,南京,210097 |
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| 基金项目： | 江苏省高新技术基金资助项目 (BG2 0 0 3 0 2 4)，南京师范大学学生基金资助项目 (2 0 0 4XK0 13 ) . |
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| 摘 要： | 设计了一种基于微机电系统(MEMS)的光纤压力传感器，证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里-珀罗腔的理论模型进行解释．推导出光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜受到的压力与于涉光强的关系表达式．并且对光纤MEMS压力传感器的模型进行数值模拟，得到了传感器制作过程中涉及到的各个物理量的取值，其中腔体半径为300μm、腔体深度为2．42μm、硅横膈膜厚度为23μm，该设计为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论基础。
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| 关 键 词： | 集成光路 光纤MEMS压力传感器 数值模拟 干涉光强 |
| 文章编号： | 1672-1292-(2004)04-0020-05 |
| 修稿时间： | 2004-06-05 |
The Design of Optical MEMS Pressure Sensor |
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| LI Ming,WANG Ming,WANG Tingting,NIE Shouping. The Design of Optical MEMS Pressure Sensor[J]. Journal of Nanjing Nor Univ: Eng and Technol, 2004, 4(4): 20-24 |
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| Authors: | LI Ming WANG Ming WANG Tingting NIE Shouping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS pressure sensor numerical simulation interference light intensity |
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